次々世代のトランジスタを狙う非シリコン材料(4)〜CMOSの実現手法と試作例

試作したCMOSインバータの電子顕微鏡観察写真 (クリックで拡大) 出典:IEDM2014の論文集

試作したCMOSインバータの電子顕微鏡観察写真 (クリックで拡大) 出典:IEDM2014の論文集