超低消費デバイスが作製できる強誘電体薄膜 作製した単結晶HfO2基強誘電体の高分解能像とそのイオンの配列 (クリックで拡大) 出典:東京工業大学 元素戦略研究センター 記事に戻る 馬本隆綱,EE Times Japan