3Dプリンタで100nmオーダーの加工が可能に? エバネッセント光を使う微細加工

左=銀イオンと光触媒ナノ粒子および加工ビームによって、3次元形状を作ることができる。灰色で描かれている直線が、ビームを走査させたところと考えればよい。その直線上に銀が析出している(黄色の丸で示されている)。右=実験装置の模式図。対物レンズを使って加工ビームを当てる。スライドガラス上に垂らした液体とカバーガラスの厚みは、わずか100μm程度である(クリックで拡大) 出典:東京大学 先端科学技術研究センター 高橋研究室

左=銀イオンと光触媒ナノ粒子および加工ビームによって、3次元形状を作ることができる。灰色で描かれている直線が、ビームを走査させたところと考えればよい。その直線上に銀が析出している(黄色の丸で示されている)。右=実験装置の模式図。対物レンズを使って加工ビームを当てる。スライドガラス上に垂らした液体とカバーガラスの厚みは、わずか100μm程度である(クリックで拡大) 出典:東京大学 先端科学技術研究センター 高橋研究室