深紫外LEDで光出力90mW超を達成、可搬型殺菌システムなどへの応用に期待

開発したAlGaN系深紫外LED素子構造のイメージ図（上）、下段はナノ光取り出し構造として作製されたAlNフォトニック結晶構造（左）とハイブリッド構造（右）の走査電子顕微鏡写真 （クリックで拡大） 出典：NICT