オフィスフロアのスペースに半導体工場ができる! ミニマルファブ向け装置 「CMOSセット」、「P-MOSセット」、「パターニングセット」、「SOIセット」、「MEMSセット」など、工程ごとに必要な装置を連結させて動作実演した(左)。右は主要装置の開発状況一覧 (クリックで拡大) 記事に戻る 馬本隆綱,EE Times Japan