オフィスフロアのスペースに半導体工場ができる！ ミニマルファブ向け装置

「CMOSセット」、「P-MOSセット」、「パターニングセット」、「SOIセット」、「MEMSセット」など、工程ごとに必要な装置を連結させて動作実演した（左）。右は主要装置の開発状況一覧 （クリックで拡大）