オフィスフロアのスペースに半導体工場ができる! ミニマルファブ向け装置 ミニマルファブで用いられる0.5インチウエハー(左)と単結晶シリコンインゴッド (クリックで拡大) 記事に戻る 馬本隆綱,EE Times Japan