NIMS、「世界最小」の高性能コンデンサ素子を作成

誘電特性(左)とリーク電流特性 (クリックで拡大) 出典:物質・材料研究機構

誘電特性(左)とリーク電流特性 (クリックで拡大) 出典:物質・材料研究機構