NIMS、「世界最小」の高性能コンデンサ素子を作成

石英ガラス基板上に製作した誘電ナノデバイス。aは外観、bはデバイス表面に上部電極として設置したドットパターン。cは、酸化ルテニウムナノシート膜の拡大。dは断面、eは組成分析データとなっている （クリックで拡大） 出典：物質・材料研究機構