立体交差もできる! 銅の100倍電流を流せるカーボンナノチューブ材料で微細配線加工に成功

CNT銅複合材料による配線の拡大写真(上)。下の3枚の写真は左から銅成分のみを赤く表示した写真、カーボン成分のみに黄色く表示した写真、銅成分を赤、カーボン成分を黄色にして両成分を重ねて表示した写真。銅とカーボンが均一に混ざっていることがうかがえる他、配線していない部分が黒く、絶縁されていることが分かる (クリックで拡大) 出典:産業技術総合研究所

CNT銅複合材料による配線の拡大写真(上)。下の3枚の写真は左から銅成分のみを赤く表示した写真、カーボン成分のみに黄色く表示した写真、銅成分を赤、カーボン成分を黄色にして両成分を重ねて表示した写真。銅とカーボンが均一に混ざっていることがうかがえる他、配線していない部分が黒く、絶縁されていることが分かる (クリックで拡大) 出典:産業技術総合研究所