450mmウエハー対応のアライナ/搬送ロボ ジェイイーエルの搬送ロボット(画像中央)と、アライナ(画像右側)。デモではT7コードを読み取り、位置決めを行っていた(クリックで拡大) 記事に戻る 村尾麻悠子,EE Times Japan