「太陽光発電パネルの効率を3％向上できる」、EVGの反射防止膜塗布装置

段差が大きい構造やアスペクト比が高いビアの塗布などにも対応できるレジスト塗布機「EVG150」（クリックで拡大） 出典：イーヴィグループジャパン