カーボンナノチューブ素子のICチップ、 “せっけん”と“トレンチ”で実用へ前進

カーボンナノチューブ素子（赤色で示されている網目状の円筒）を配置した基板を上から見た様子である。青色の領域が酸化ケイ素で、黄色の領域が酸化ハフニウム。この部分を横から見ると、断面は凹状のトレンチになっており、黄色で示した酸化ハフニウムの領域がくぼみに相当する。そこにカーボンナノチューブ素子が化学結合によって貼り付いて、トレンチにすっぽり収まっている格好だ。（クリックで拡大）