「ソニーの裏面照射型CMOSセンサーにも採用」、酸化膜接合の新技術のインパクトとは!? 裏面照射型CMOSセンサーの構造と、酸化膜接合技術を適用する接合面(左)。裏面照射型CMOSセンサーに酸化膜接合技術を適用したときのメリット(右)。 記事に戻る 前川慎光,EE Times Japan