「ソニーの裏面照射型CMOSセンサーにも採用」、酸化膜接合の新技術のインパクトとは!? Ziptronixの酸化膜接合技術の概略図。酸化膜界面をプラズマで活性化させて、界面を活性化させたチップを接触させる。 記事に戻る 前川慎光,EE Times Japan