予知保全の新たな選択肢 10kHz対応MEMS振動センサーで異常の早期検知へ 異常の検知から故障に至るまでの期間を比較したグラフ。超音波と振動は早期に異常を捉えられる[クリックで拡大] 提供:STマイクロエレクトロニクス 記事に戻る PR/EDN Japan