「分解能0.1％」の静電容量式位置センサーを構成する

図2 このグラフは、出力を、基準電圧+5Vで動作する12ビットADCに入力した場合のセンサーの性能を示している。黒の曲線（左軸）はプレート間隔（d）をミリメートル単位で、赤の曲線（右軸）はADCの最下位ビット（LSB）の分解能をマイクロメートル単位で表している。分解能は、測定範囲の大部分において0.1％（d/1000）に近い値となっている