共振子(1) ―― 水晶デバイスとは

図3:新しい加工技術。上段=従来工法 / 下段=フォトリソグラフィ工法[3]

図3:新しい加工技術。上段=従来工法 / 下段=フォトリソグラフィ工法[3]