MEMSスイッチ技術の基礎 ―― 電子設計を変える革新技術に迫る

図8：リードフレームチップスケールパッケージに入ったアナログ・デバイセズのMEMSスイッチ（4スイッチ）と代表的な電子機械式RFリレー（4スイッチ）の比較