SEMを用いないで太陽電池ウェーハを検査 図1 検査システムの概要 SWIRセンサーからの発光情報(アナログ信号)がデジタル化され、画像取り込みカードに送られる。 記事に戻る Chun-Fu Lin/Tai-Shan Liao(台湾国家実験研究院),EDN