最新センサーデバイスが変える予防安全システム

図9　QMEMSジャイロの角度検知原理（提供：エプソントヨコム）　（左上）通電時には駆動アームが横方向に振動（右上）本体に回転の応力が印加される（左下）駆動アームにコリオリの力が働き垂直方向の振動が発生（右下）駆動アームの垂直振動により固定部が屈曲して、検出アームが振動。これを電気信号に変換・出力する。