第291回 最先端半導体に必須のEUV露光装置から「お金の匂い」がする理由

沖縄科学技術大学院大学が開発したEUVリソグラフィー技術冒頭に示したASMLのEUV露光装置が使用しているリソグラフィー技術が図の左側だ。比べて見ると同じ経路で光を収束させていることが分かる。沖縄科学技術大学院大学では、これを大幅に簡略化することに成功したという。実際の露光装置で、ASMLと同様の性能が実現できれば、大きな変革になる可能性もある。図は、沖縄科学技術大学院大学のプレスリリース「エネルギー効率を飛躍的に高める革新的なEUVリソグラフィー先端半導体製造技術を発表」より。