第291回 最先端半導体に必須のEUV露光装置から「お金の匂い」がする理由

EUV露光装置に「お金の匂い」がする理由最先端半導体で使われるEUV露光装置関連のニュースが増えている。EUV露光装置は、現在、オランダのASMLがほぼ独占状態にある。ただ、現状のEUV露光装置には改善の余地があり、そこを狙ってさまざまな研究機関や企業がしのぎを削っている。そんな状況について解説する。写真は、ASMLのWebページ「Lenses & mirrors」に掲載されているEUV露光装置の鏡を使った光学システム部分。