新生CEATEC、電子部品メーカーはCPS／IoTにどうアプローチしたのか

TDKの「IoTソリューション」。FOUPケースに組み込んだモジュールにより、密閉を保ちつつ、歩留まりと関わる湿度データを常時モニタリングできる（クリックで拡大）