ウエハー厚さ25μmでも抗折強度とゲッタリング効果を両立、裏面研磨の新製品

厚さ25μmのウエハーの抗折強度比較。「DPEGシリーズ」と比べて「DPEG-MZ」は20％向上できている（クリックで拡大） 出典：ディスコ