メモリホールにおけるエッチングと成膜の難度を軽減する2つの手法 セルストリングを複数の段階に分けて製造する手法「マルチティア(Multi-Tiers)」の概要と課題。出典:Applied Materials(クリックで拡大) 記事に戻る 福田昭,EE Times Japan