絶縁膜の埋め込みと平坦化が、複雑な形状の加工を支える 「絶縁膜の埋め込み(Isolation Fill)」技術の概要と課題、解決策のまとめ (クリックで拡大) 出典:Applied Materials 記事に戻る 福田昭,EE Times Japan