チャージングダメージの障壁を乗り越えた日米の情熱 図4:日立の津国&野尻論文(1987年SSDM) (クリックで拡大) 出典:K. Tsunokuni, K. Nojiri et al., 19th Conference on Solid State Devices and Materials, p.195 (1987). 記事に戻る 湯之上隆(微細加工研究所) 有門経敏(Tech Trend Analysis),EE Times Japan