チャージングダメージの障壁を乗り越えた日米の情熱 図3:日立の川本論文(1985年DPS) (クリックで拡大) 出典:Y.Kawamoto , Proceedings of 7th Symposium on Dry Process, p.132 (1985). 記事に戻る 湯之上隆(微細加工研究所) 有門経敏(Tech Trend Analysis),EE Times Japan