2D NANDと3D NANDのスケーリング(高密度化)手法 2D NANDフラッシュ(プレーナーNANDフラッシュ)のスケーリング(高密度化)手法(左)と3D NANDフラッシュのスケーリング(高密度化)手法のまとめ。上の構造図はセルストリングのイメージ。出典:Applied Materials(クリックで拡大) 記事に戻る 福田昭,EE Times Japan