2D NANDと3D NANDのスケーリング(高密度化)手法

2D NANDフラッシュ(プレーナーNANDフラッシュ)のスケーリング(高密度化)手法(左)と3D NANDフラッシュのスケーリング(高密度化)手法のまとめ。上の構造図はセルストリングのイメージ。出典:Applied Materials(クリックで拡大)

2D NANDフラッシュ(プレーナーNANDフラッシュ)のスケーリング(高密度化)手法(左)と3D NANDフラッシュのスケーリング(高密度化)手法のまとめ。上の構造図はセルストリングのイメージ。出典:Applied Materials(クリックで拡大)