半導体レーザーとシリコン光導波路を接続する技術（前編）

半導体レーザーとシリコン光導波路を結合する方法「ハイブリッド・レーザー集積化」の例。左上はレーザーと光学系をまとめたモジュール、左下はシリコンウエハーにレーザーダイを貼り付けたデバイス、右はシリコンウエハーにレーザーダイをフリップチップ接続したデバイス。出典：imec（クリックで拡大）