シリコンフォトニクスの光検出器

シリコンフォトニクスで使われるゲルマニウム光検出器の構造。左は断面構造図。シリコン（Si）光導波路の上にゲルマニウム（Ge）の光導波路を載せている。電気的にはpinヘテロ接合フォトダイオードである。中央は光導波路方向に沿う方向の断面を透過型電子顕微鏡（TEM）で観察した画像。右は光検出器全体の鳥瞰図。出典：imec（クリックで拡大）