シリコン光導波路と基本的な光波長フィルター

シリコン光導波路の性能と試作した構造。左は伝搬損失と曲げ半径の関係。中央はシリコン光導波路の電子顕微鏡観察画像と断面構造図。右はシリコン光導波路のレイアウト例 （クリックで拡大） 出典：imec