電子顕微鏡による3次元ナノ計測、AIで高速化に成功

直交型FIB-SEMの概略図と超解像化処理のイメージ (クリックで拡大) 出典:東北大学

直交型FIB-SEMの概略図と超解像化処理のイメージ (クリックで拡大) 出典:東北大学