既存装置にAIを、ハードの後付けで予知保全が容易に

左＝AIユニットソリューションのデモ。赤い矢印で示しているのがAIユニット（試作機）／右＝ウエハー搬送ロボットの振動をセンサーでモニタリングし、あらかじめ設定したしきい値を超えたら「異常値」と判定するようになっている（クリックで拡大）