振動監視の実証実験を手軽に、MEMSセンサーで 左=デモの様子。赤枠が、MEMSセンサーと周辺回路を搭載した基板。大きさは100円玉くらいだ/取得したデータをリアルタイムで表示している(クリックで拡大) 記事に戻る 村尾麻悠子,EE Times Japan