「不揮発性DRAM」へのアプローチ（後編）

試作した3次元キャパシターアレイの断面観察像（上：走査型電子顕微鏡）と上面観察像（下：透過型電子顕微鏡）。ZAZ構造の厚みは7.5nm、円筒状キャパシターのアスペクト比は30（水平方向を1とすると、垂直方向の長さが30）である。出典：NaMLabやドレスデン工科大学などの共同研究グループが2016年12月に国際学会IEDMで発表した資料から（クリックで拡大）