反強誘電体キャパシターから不揮発性メモリを作る方法（続き）

試作した反強誘電体キャパシターの分極特性。左はトップ電極とボトム電極が同じ（窒化チタン（TiN））場合の特性。反強誘電体としてのヒステリシス曲線を描いている。右はトップ電極に仕事関数の大きな材料（酸化ルテニウム（RuOx））を導入したときの特性。強誘電体と類似のヒステリシス曲線を描く。特性が大きく変化していることが分かる。出典：NaMLabおよびドレスデン工科大学（クリックで拡大）