代表的な強誘電体材料（後編）〜その他の材料

二酸化ハフニウム（HfO2）が熱処理や微量元素添加などによって性質と結晶構造を変える様子。左下は熱処理によって低誘電率相となるプロセス。結晶構造の対称性は低い。中央は強誘電体相（FE phaze）または反強誘電体相（AFE phase）となる様子。右は熱処理によって高誘電率相となるプロセス。結晶構造の対称性が高い　出典：NaMLabおよびドレスデン工科大学（クリックで拡大）