10nm向けナノインプリント用テンプレートを量産開始 DNPが導入したキヤノン製のナノインプリント用テンプレートの複製装置「FPA-1100NR2」 (クリックで拡大) 出典:キヤノン 記事に戻る 庄司智昭,EE Times Japan