ルネサス、フィン構造のMONOSフラッシュを開発

フィン構造のSG-MONOSフラッシュメモリセル。画像右の「断面像」は、「鳥瞰像」のX／X'で切断した時の断面図となる。フィンの上にトラップ膜が形成されているのがよく分かる（クリックで拡大） 出典：ルネサス