ASML、次世代EUV装置に19億米ドルを投資

ASMLが計画するEUV装置採用半導体メーカー数を示した資料。星印の数が、EUV装置を生産ラインに導入する半導体メーカー数を示している。表中、右端の白抜きの星印は、次世代EUV装置の導入時期を示している （クリックで拡大） 出典：ASML