半径3μmでシリコン光導波路を曲げる技術

立体湾曲シリコン光配線の概念図（左）と、それを搭載したシリコン光回路が表面垂直方向からの光ファイバーと光結合した状態の光学顕微鏡写真（右） （クリックで拡大） 出典：産業技術総合研究所