ナノインプリント開発の進展状況をキヤノンが講演（2）〜解像度と位置合わせ、生産性

ナノインプリント・リソグラフィ技術で様々なパターンを転写した実例。電子顕微鏡観察による拡大写真（クリックで拡大）