3Dプリンタで100nmオーダーの加工が可能に? エバネッセント光を使う微細加工 窒素を流した時(窒素パージ環境下)は、エバネッセント光が安定し、積層および造形が改善する(クリックで拡大) 出典:東京大学 先端科学技術研究センター 高橋研究室 記事に戻る 村尾麻悠子,EE Times Japan