消費電力がゼロの衝撃検知センサー――SIIが超小型MEMS加速度スイッチを開発中 SIIの超小型MEMS加速度スイッチの動作原理と素子構造(クリックで拡大) 出典:SII 記事に戻る 朴尚洙,MONOist