SiCデバイス価格、2016年度にSi比1.5〜2倍に――ローム、6インチウエハー/トレンチ構造導入で

2014年春量産のSiC-MOSFETに適用するトレンチゲート構造と従来のプレーナ型ゲートの比較 （クリックで拡大） 出典：ローム