半導体の温故知新（6）――MOSトランジスタの次はTFET？

図2　従来のMOSFETからFinFET、あるいはFD-SOI技術のFETに選択肢が広がり、やがてFD-SOIのFinFET、さらにはゲートで周囲を囲むゲート・オール・アラウンド構造などの道がある。TFETへの道もある （クリックで拡大） 出典：服部毅著「6-2　半導体微細化・大口径化とプロセス技術」、『メガトレンド半導体2014-2023』、日経BP発行