「センサ新時代」(3) MEMSセンサに不可欠なベアダイ
約10万製品が対象、10個から購入できるサービスが登場

図1　センサ機器の主な構成センサ素子のほか、オペアンプとA/Dコンバータが必須になる。これらの三つを一つのパッケージに封止すれば、デジタル出力のセンサ・モジュールが実現できる。実際の電子機器では、これらにマイコンや無線通信機能、4-20mAのトランスミッタを接続して、センサ機器を構成している。