微細化に堪え得るオンチップSRAM 図2 SRAMセルのスケーリングトレンド 実線がセル全体の面積を表し、点線がセル内のnMOSのチャンネル面積を表す。 記事に戻る 平林 修( 東芝 セミコンダクター社 半導体研究開発センター),EDN